真空感應(yīng)爐中冶煉Ni基、Fe基高溫合金所要求的真空度一般在0.133Pa (10-3Torr)的數(shù)量級。真空系統(tǒng)由三級組成: 油噴射增壓泵——羅茨真空泵——機(jī)械真空泵。而作為前級泵所用的多數(shù)為滑閥式機(jī)械真空泵。這種型號的泵有結(jié)構(gòu)緊湊, 占地面積小,安裝方便的優(yōu)點。